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光學激光幹涉儀怎麼測平行度

生活更新时间:2025-07-02 05:11:15

SJ6000激光幹涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。

光學激光幹涉儀怎麼測平行度（SJ6000激光幹涉儀怎麼測平行度）1

平行度測量原理

平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

光學激光幹涉儀怎麼測平行度（SJ6000激光幹涉儀怎麼測平行度）2

平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜态測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

平行度測量應用

光學激光幹涉儀怎麼測平行度（SJ6000激光幹涉儀怎麼測平行度）3

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