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什麼裡面用二氧化矽

生活更新时间:2025-08-14 18:17:38

什麼裡面用二氧化矽?1、表面鈍化2、摻雜阻擋層，我來為大家科普一下關于什麼裡面用二氧化矽?以下内容希望對你有幫助!

什麼裡面用二氧化矽

1、表面鈍化

2、摻雜阻擋層

3、表面絕緣體

4、器件絕緣體

5、緩沖層

6、隔離層

作為選擇性摻雜的掩模：Si0₂的掩蔽作用是指，Si0₂膜能阻擋雜質（例如硼、磷、砷等）向半導體中擴散的能力。利用這一性質，在矽片表面就可以進行有選擇地擴散。同樣對于離子注人Si0₂，也可作為注人離子的阻擋層。

作為隔離層：集成電路中，器件與器件之間的隔離可以有PN結隔離和Si0₂，介質隔離。

Si0₂，介質隔離比PN結隔離的效果好，它采用一個厚的場氧化層來完成。

作為緩沖層：當Si₃N4 。直接沉積在Si襯底上時，界面存在極大的應力與極高的界面态密度，因此多采用Si3N4（原子晶體）。/Si0₂（二氧化矽），/Si（矽）結構，當進行場氧化時，Si0₂（二氧化矽），會有軟化現象。可以清除Si3N4和襯底Si之間的應力。

作為MQS器件的絕緣栅介質：在集成電路的特征尺寸越來越小的情況下，作為MQS結構中的栅介質的厚度也越來越小。此時Si0₂，作為器件的一個重要組成部分（如圖1所示），它的質量直接決定器件的多個電學參數。同樣Si0₂也可作為電容的介質材料。

作為絕緣層：在芯片集成度越來越高的情況下就需要多層金屬布線。它們之間需要用絕緣性能良好的介電材料加以隔離，Si0₂就能充當這種隔離材料。

作為保護器件和電路的鈍化層：在集成電路芯片制作完成後，為了防止機械性的損傷，或接觸含有水汽的環境太久而造成器件失效，通常在IC制造工藝結束後在表面沉積一層鈍化層，摻磷的Si02，薄膜常用作這一用途。

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